Корець, Микола Савич; Трегуб, Іван Григорович; Яшанов, Сергій Микитович
(Вид-во НПУ ім. М. П. Драгоманова, 2011)
Розглянуто основні відомості про матеріали електронної техніки,
провідникові, напівпровідникові та електродні матеріали; хімічні матеріали для
обробки напівпровідників; пасивні та активні діелектрики; матеріали
фотолітографії ...